簡述柔性鉸鏈微精密位移平臺性能仿真

添加時間：2020-6-9 8:58:01 作者：浙江金科機械傳動有限公司

摘要： 本文從柔性鉸鏈微位移平臺的背景出發(fā)，介紹了柔性鉸鏈的運動實現(xiàn)以及特點，以一維微位移工作平臺為例，用Inventor建立其模型。并用ANSYS對其進行位移與應(yīng)力仿真，得出輸入與輸出相應(yīng)關(guān)系，并在壓電陶瓷驅(qū)動器行程范圍內(nèi)找到線性響應(yīng)區(qū)域.
關(guān)鍵詞 ： 精密位移平臺   手動位移平臺   可調(diào)位移平臺   XY精密平臺
1  背景介紹  
  精密位移平臺是近年來發(fā)展起來的一種新型機械傳動和支撐機構(gòu)，用于繞軸作復(fù)雜運動的有限角位移。也可理解為利用其結(jié)構(gòu)薄弱部分的彈性變形可實現(xiàn)類似普通鉸鏈的運動傳遞,極大地拓展了微精密位移平臺驅(qū)動器的應(yīng)用范圍和應(yīng)用領(lǐng)域。  
  隨著納米技術(shù)的興起和飛速發(fā)展，基于精密位移平臺—壓電陶瓷驅(qū)動的納米級微定位技術(shù)已成為能束加工、超精密加工、微操作系統(tǒng)等前沿技術(shù)的基礎(chǔ)支持技術(shù)。利用柔性鉸鏈的眾多優(yōu)點，易實現(xiàn)亞微米甚至納米級的精度。因此，研究柔性鉸鏈對于納米技術(shù)的進一步發(fā)展與廣泛應(yīng)用非常有意義。  
  近年來，采用壓電元件驅(qū)動，精密位移平臺機構(gòu)傳動實現(xiàn)精密定位有著眾多的應(yīng)用，如微動工作臺，引激光焊接、光學(xué)自動聚焦系統(tǒng)等眾多領(lǐng)域。納米定位技術(shù)是實現(xiàn)納米加工和納米測量的基礎(chǔ)，精密位移平臺在該領(lǐng)域也有著極其重要的應(yīng)用。就目前來看，精密位移平臺—壓電致動微動工作臺的研究將占主導(dǎo)地位。

2   精密位移平臺的運動實現(xiàn)  
   精密位移平臺是通過彈性形變來實現(xiàn)鉸鏈運動。施加的彈性變形力會導(dǎo)致鉸鏈中心點偏移其幾何中心，從而影響柔性鉸鏈的轉(zhuǎn)動精度。精密位移平臺用于繞軸做復(fù)雜運動的有限角位移，它有很多種結(jié)構(gòu)，最普通的形式是繞一個軸彈性彎曲。如圖1所示，組成柔性工作系統(tǒng)主要的基本形變是在Mz作用下繞Z軸的轉(zhuǎn)動，產(chǎn)生相應(yīng)轉(zhuǎn)角以及在y方向上的位移dy。與此同時在x方向上也產(chǎn)生相應(yīng)的收縮位移dx。通常情況下dx相對于dy是一個小量，即運動的主位移為dy。
  理想精密位移平臺應(yīng)可以繞其中心點自由旋轉(zhuǎn)，但對于真實的柔性鉸鏈，要讓它作旋轉(zhuǎn)運動就必須施加變形力。為了定量的考察各個精密位移平臺的運動范圍和運動精度，通常選用D點的位移來表示其運動范圍，而用中心點C的偏移量來表是其運動精度。      
  各種微動方面的運用需求要求能實現(xiàn)小范圍內(nèi)微動的機械結(jié)構(gòu)不僅要高分辨率，也要結(jié)構(gòu)微小型化。精密位移平臺機構(gòu)具有較高的位移分辨率，再配合壓電陶瓷驅(qū)動器可實現(xiàn)微小位移，可適合各種介質(zhì)環(huán)境工作。
  目前運用于壓電驅(qū)動實現(xiàn)微動的精密位移平臺主要有：直圓型、橢圓型、直角型、拋物線型、雙割線型。所以這里設(shè)計中柔性鉸鏈移動副以及其伴生運動的抑制為主要研究對象。柔性鉸鏈分析是基于小變形懸臂梁假設(shè)，變形為彈性變形，彎曲變形是由力和彎矩產(chǎn)生的。理想情況下，柔性鉸鏈繞其中心轉(zhuǎn)動，中心軸的位置應(yīng)該不變，實際上彎矩和拉力的作用下，柔性鉸鏈的轉(zhuǎn)動中心會產(chǎn)生偏移，從而影響了鉸鏈的轉(zhuǎn)動和運動精度。根據(jù)材料力學(xué)卡式第二定理，鉸鏈回轉(zhuǎn)中心的位移x2，y2，
  柔度是指構(gòu)件在軸向受力的情況下，沿垂直軸向方向發(fā)生形變的大小。柔度矩陣中C33為力Fx1在中心點x 軸方向上的柔度。根據(jù)微動平臺的要求，柔性鉸鏈伴生運動應(yīng)該越小越好，由上面C33的定義可知，C33越小柔性鉸鏈正在x 軸方向上的變形越小，即鉸鏈的伴生運動越小。在預(yù)定設(shè)計參數(shù)的情況下，直圓鉸鏈的C33小，所以直圓柔性鉸鏈x 軸的伴生運動比較小，適合運用于微動平臺。