簡述精密位移平臺在機床設備領域的應用與發展

添加時間：2020-6-9 9:20:26 作者：浙江金科機械傳動有限公司

   精密位移平臺與超精密加工的機床設備也隨著加工精度的提高和該項技術的發展，機床本身的精度也在不斷的提高，精密位移平臺和超精密機床也獲得了相應的發展。目前能代表超精密機床最高水平的機床主要有union carbide公司的半球車床，moore車床，ex-cell-o公司的2m鏡面立式車床，精密位移平臺公司的msg-325型超精密車床以及美國lll實驗室dtm-3型大型超精密車床等。

   超精密精密位移平臺的主軸部件目前所使用的主要有：液體靜壓軸承主軸、空氣式靜壓主軸兩種目前主要采用空氣軸承主軸。主軸和軸承的材料選取，對精密位移平臺的精度和性能有重要影響。精密位移平臺制造空氣主軸的材料有

1）軸和軸套都用38crmoal氮化鋼，經表面氮化和低溫穩定處理；
2）不銹鋼制造；
3）多孔石墨和軸承鋼以及銦鋼和花崗巖、微晶玻璃、陶瓷。